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LM-SECS设备SECS/GEM通讯协议开发

发布时间：2021-06-27浏览次数：580次
  • LM-SECS设备SECS/GEM通讯协议开发
  • LM-SECS设备SECS/GEM通讯协议开发

LM-SECS是基于SEMI SECS/GEM标准的通信开发工具软件，提供灵活高效的二 次开发接口，可使用户在最短的时间内实现主机和半导体设备间的通信。

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