LM-RMS系统实现对程序的自动上传 、下载、对比等管控,防止人为修改或 误操作,提供设备维度Recipe和Recipe Body整合管理的功能,降低人工操 作出错率,提高产品良率。
◆ 提高设备生产效率和人工作业效率,用户权限管控
◆ Golden Recipe基准制作
◆ 界面上传设备程序
◆ 界面下载程序到设备
◆ 程序版本历史信
◆ 设备程序自动比较
◆ 程序历史版本比较
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