LM-CIM系统

CIM系统是一个庞大的、复杂的、功能强大的系统，其中包括多 个任务相对单一的子系统，而每一个子系统又是一个复杂的系 统。半导体CIM系统是半导体工厂自动化生产的核心，通过工厂 生产的自动化和企业信息的集成，来解决生产中各个自动化孤岛 之间的信息交换与共享，提高工艺品质、提高设备使用率以及生 产效率、提升产能，降低生产周期，进而实现企业的敏捷制造。

• 支持SECS/GEM、GPIB、PLC、OPC、RS232等方式设备联机，非标设备支持采用工业级稳定硬件通讯平台LM-Smart Box实现互联。2

• 设备自动化管控逻辑采用配置化管理方式，实现设备自动化联网NO-Code方式 快速部署上线，减少设备自动化项目实施周期。

• 设备recipe实现自动上传、参数下载、参数校验、参数优化、设备参数与产品追溯，有效提高产品质量。 

• 设备报警数据采集、Alarm监控、Alarm数据分析、有效实现设备故障预警、大 幅提升设备稼动率。

• 实时采集设备状态、工艺参数、设备报警、异常停机等信息，并对采集信息进行 统计分析，挖掘数据价值，提升生产过程可视化水平。